MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)，是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級(jí)的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。

　1、MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測(cè)流量范圍廣，適用于各種需求的流量計(jì)測(cè)。2、MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。3、MEMS非接觸溫度傳感器：對(duì)靜止人體也能檢測(cè)，高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器。4、MEMS開關(guān)：高頻，小型，長(zhǎng)壽命的MEMS開關(guān)。中國(guó)在MEMS傳感器領(lǐng)域的研究較晚，但已經(jīng)成為不可或缺的力量，中國(guó)的部分專利權(quán)的創(chuàng)新主體協(xié)同格局前提下，加大科技資金投入不但可以消解技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展中的資金阻滯，又有助于引導(dǎo)企業(yè)或單位技術(shù)創(chuàng)新意識(shí)，從而提高我國(guó)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)效率，促進(jìn)經(jīng)濟(jì)快速而穩(wěn)健的發(fā)展。

　產(chǎn)品原理MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(chǎng)（溫度分布）,當(dāng)氣體介質(zhì)流過(guò)傳感器芯片時(shí)，溫度場(chǎng)因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場(chǎng)的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對(duì)此溫度分布進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)校準(zhǔn)，專門設(shè)計(jì)的信號(hào)處理電路和智能控制軟件可精確測(cè)量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.

　自成立一直用的就是賽亞的MEMS傳感器，對(duì)于客戶的安全我們是非常重視的，由于塞亞是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的MEMS煙霧氣體傳感器制造商，運(yùn)用MEMS熱電堆芯片，精度和靈敏度都大大的高，在芯片技術(shù)、MEMS封裝等方面都很適合我們，而且產(chǎn)品體積小、功耗低、靈敏度高、精度高，用了很多年了，至今沒出現(xiàn)過(guò)問(wèn)題的。